三氯氫硅學(xué)名三氯硅烷，一種無(wú)機(jī)化合物，具有刺激性惡臭、易流動(dòng)、易揮發(fā)的無(wú)色透明液體。溶于苯、乙醚、庚烷等多數(shù)有機(jī)溶劑。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn)，遇明火則強(qiáng)烈燃燒，燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時(shí)引起猛烈的爆炸。