三氯氫硅學名三氯硅烷，一種無機化合物，具有刺激性惡臭、易流動、易揮發的無色透明液體。溶于苯、乙醚、庚烷等多數有機溶劑。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。